증발산 흡인제의 핵심 구성요소인 티타늄은 우수한 물리적, 화학적 특성으로 흡인제의 흡착 성능 향상, 반응 공정 최적화, 재료 특성 개선 및 다양한 제조 공정 적응에 있어 대체할 수 없는 역할을 하며, 고진공 환경의 안정성과 신뢰성을 유지하는 데 큰 의미를 갖습니다.{0}}
가스 흡착 능력 강화
증발산에 의해 형성된 금속막은 비표면적이 높은 다공성 미세구조를 갖고 있어 가스분자와의 접촉면적을 크게 증가시켜 흡착효율을 향상시킨다. 박막의 중요한 구성요소로서,티탄기공 구조와 표면 형태를 더욱 최적화하고 반응성 가스(예: H2, O2, N2, CO 등)의 화학적 흡착 및 포집 능력을 강화하며 시스템의 진공 수준을 보다 효과적으로 유지할 수 있습니다.
바륨-티타늄 흡수제의 열역학 조절
바륨에서-티탄Fe2O₃를 함유한 흡입 시스템인 바륨의 환원 반응은 발열 과정으로, 자립적 반응 메커니즘을 형성하고 외부 열원에 대한 의존도를 줄입니다. 티타늄은 이 시스템에서 금속간 화합물의 형성에 관여하여 반응 경로와 열 방출 특성을 조절하여 증발산 과정을 보다 안정적이고 제어 가능하게 만드는 동시에 전체 에너지 소비를 줄이고 공정 안정성을 향상시킵니다.
재료 소결 및 구조적 안정성 향상
티탄 소결 활성이 우수하여 흡인제 제조 시 입자 간 확산 및 결합을 촉진하여 기계적 강도가 높은 치밀한 소결체를 형성할 수 있습니다. 이는 진동과 충격에 저항하는 흡인기의 능력을 향상시킬 뿐만 아니라 장기간의 작업 조건에서 구조적 무결성과 서비스 수명을 향상시킵니다.-
유해한 증발을 억제하기 위해 매우 안정적인 화합물을 형성합니다.
티타늄과 알루미늄은 증발 온도가 높은 TiAl 금속간 화합물을 형성할 수 있습니다. 이는 증발산 온도에서 증기압이 매우 낮습니다. 이는 알루미늄 필름의 조기 증발을 효과적으로 억제하고 장치 내부, 특히 광학 또는 민감한 표면의 오염 위험을 줄이고 장치의 성능과 신뢰성을 보장합니다.
흡수성 합금의 분해 촉진 및 공정 온도 감소
티타늄의 강력한 환원 특성과 산소에 대한 높은 친화력은 흡수성 합금이 낮은 온도에서 활성 물질을 분해 및 방출하여 기판을 지지하는 데 필요한 작동 온도를 낮추는 데 도움이 됩니다. 기판 온도가 낮을수록 슬래그-대-기판 결합이 원활해지며 입자 스퍼터링 오염을 방지하는 동시에 공정 안전성이 향상됩니다.
다양한 기판 및 성형 공정에 적응
티타늄-함유 흡수체는 다양한 기판(예: 니켈, 스테인리스강, 몰리브덴, 티타늄 등) 및 장치 구조에 따라 적절한 성형 공정을 채택할 수 있습니다.
건식 분말 압축 방법: 분말 압력 흡입제 및 KPB 유형 순환 바륨 흡수제에 적합하며 활성 분말이 기판에 직접 압축되며 공정이 간단하고 결합이 견고합니다.
석고 방법: 피트 또는 복잡한 구조가 있는 벨트 및 관형 기판에 적합합니다. 이는 습식 페이스트(유기 바인더를 캐리어로 사용)와 건식 페이스트(티타늄-계 바인더와 혼합된 합금 분말로 구성)로 구분되며, 후자의 티타늄-계 바인더는 일반적으로 티타늄 분말 65%와 유기 캐리어 35%를 함유하고 성형성과 접착 강도가 우수하며 다양한 장치 통합 요구를 충족할 수 있습니다.
증발산기의 티타늄은 필름 구조를 최적화하고 발열 반응에 참여 및 조절하며 재료의 소결성을 강화하고 고온에서 안정적인 상을 형성합니다. 합금 분해 및 여러 성형 공정에 대한 적응과 같은 여러 메커니즘을 촉진하고 흡착 성능, 공정 적응성 및 공기 흡수제의 장기-신뢰성을 종합적으로 향상시키며 고진공 장치 및 기술 개발을 촉진하는 중요한 기능성 소재입니다.{2}}
